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微壓壓力校驗儀的壓力生成方式,壓力測量原理

 更新時間:2025-06-25 點擊量:505
(1) 壓力生成方式
微壓壓力校驗儀通常采用以下方法產生精確的微小壓力:
電動氣壓泵:通過精密步進電機驅動活塞或波紋管,壓縮/釋放氣體(如空氣或氮氣),生成可控微壓。
微流量控制閥:調節氣體流量,結合高精度壓力傳感器閉環反饋,穩定輸出目標壓力。
手動壓力源(如手操泵):適用于低成本場景,依賴人工操作產生壓力(精度較低)。
 
(2) 壓力測量原理
高精度壓力傳感器:采用硅諧振式、電容式或壓阻式傳感器,測量生成的微壓信號。
硅諧振傳感器:通過諧振頻率變化檢測壓力,精度可達±0.01% FS。
電容式傳感器:利用極板間距變化測量壓力,抗干擾性強。
溫度補償:內置溫度傳感器,修正環境溫度對壓力測量的影響。
 
(3) 信號處理與顯示
ADC(模數轉換):將傳感器輸出的模擬信號轉換為數字值。
非線性修正:通過算法補償傳感器的非線性誤差(如多項式擬合)。
人機交互:LCD顯示實時壓力值,支持單位切換(Pa/mbar/inH?O等)。